ELECTRONICS
STEM解析
STEM観察では、CMOS製品のゲート酸化物などの非常に薄い層まで観察することが可能です。
先端プロセス製品(Low-K酸化膜の縮体なし)の断面観察が可能なSTEMを導入しております。
| 型式 | HD-2700 |
|---|---|
| メーカー | 日立 |
| 加速電圧 | 80,120,200KV |
| 観察モード | TE,SE,ZC |
| EDX | Oxford×2本 |
| 分解能 | 0.105nm |
| 資料サイズ | 1×1mm |
| 最高倍率 | ×8M@200kV |
