デンケン

ELECTRONICS

断面研磨・平面研磨・平行研磨観察

特定した半導体不具合箇所の断面観察をするため、切断機・研磨機を用いて 断面・平面方向から研磨を行い、不具合箇所の状態を観察して解析します。 イオンミリング加工も可能です。

断面研磨・平面研磨 断面研磨・平面研磨
断面の目的により、使い分けが可能



イオンミリング_IM4000

イオンミリング法として広く適用されている断面ミリングと平面ミリングの二つの機能を持つハイブリッドイオンミリング装置。材料分野やデバイス分野などの多様なニーズに対応



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