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シンポジウムでデンケンの回路修正技術を紹介
2021.12.16 | エレクトロニクス事業部
2021年10月25日(月)~27日(水)にオンラインで開催された 第41回ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2021 にて、日本エフイー・アイ株式会社の田中英夫氏により、「回路修正におけるハイスループット銅除去技術」についての研究発表が行われました。
デンケンエレクトロニクス事業部評価解析課では、この技術を実例で検証するなど、FIBエンジニアとして研究に協力いたしました。
【ナノテスティングシンポジウム2021会議録】
PDF:High throughput Copper Removal of Frontside Circuit Edit
copyright © ナノテスティング学会
[著作者]※敬称略
日本FEI:田中 英夫
Thermo Fisher Scientific:Michael Wong、David Pan
デンケン:國廣 紗央、佐藤 美友紀