デンケン

ELECTRONICS

OBIRCH・EMISSION解析

微小リークや動作不良により生じる異常電流を、半導体CHIP表面または裏面から観察を行い、回路内に発生する微弱な発光/発熱部分を補足することで不具合箇所を絞り込み、解析を行います。
EMS-エミッション顕微鏡(OBIRCH機能付)により、半導体Chip内部の不良箇所特定(LEAK、Short、高抵抗) などの観察をします。



エミッション顕微鏡_PHEMOS1000



エミッション顕微鏡_Phemos-X

・PHEMOS1000の後継機
・CADナビゲーションとの接続が可能
・SI-CCDカメラ搭載
・裏面観察

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